低温等离子废气净化器由于纤维间的空隙小于气体分子布朗运动的自由路径，尘粒便与纤维碰撞接触而被分离出来。其工作过程与滤料的编织方法、纤维的密度及粉尘的扩散、惯性、遮挡、重力和静电作用等因素及其清灰方法有关。滤布材料是低温等离子废气净化器的关键，性能良好的滤布，除特定的致密度和透气性外，还应有良好的蚀性、耐热性及较高的机械强度。耐热性能良好的纤维，其耐热度目前已可达到250—350℃。
低温等离子废气净化器的维护
◆低温等离子废气净化器正在维护作业时，先切断电源，作业人员携带操作盘的钥匙，并在操作盘上挂上“正在检修，严禁运转”的牌子。
◆日常巡回检查或运转中，低温等离子废气净化器临时处理故障时，作业人员严防衣物绞入传动装置中。进入集灰斗清灰或进入滤袋室挂袋时，穿戴劳动保护用具，防止粉尘迷眼或灼伤皮肤。
◆对于处理高温气体的正压玻璃纤维布袋式除尘器，在夏季进入气体分布室悬挂滤袋时，低温等离子废气净化器应采取防止中暑措施。
◆振打装置、星型卸料器、排风机等的传动装置，如联轴器，传动皮带，传动联轮等都要加设防护罩,以防螺栓松脱，皮带、链条断裂时飞出伤人。
◆对于处理含易燃易爆粉尘气体的袋收除尘器，如煤磨使用的袋除收尘器，应经常收低温等离子废气净化器内积灰，以烧或爆炸，应防止火种入内。在运转时严禁用电焊，气焊焊补管道或壳体。
